碳化硅晶體生長爐 SiC Crystal Growth

• 世界最高品質SiC晶體生長爐

  

  電感加熱式物理氣相傳輸SiC生長爐

  雙壁水冷石英管

  2英寸，100mm或150mm晶圓工藝

  高溫計控制和電源控制，保證生長爐穩定運行

  自動PLC控制，帶工藝，觸屏，安全互鎖/警報等功能

  遠程監測和控制

  占地空間最小的SiC生長爐

   

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