多腔系統 Multi-chamers System

• 多腔系統

  

  ICP刻蝕機、RIE刻蝕機、PECVD和ICPECVD、真空裝片裝置或盒式載片臺可以用3到6端口的傳遞腔室連接，實現多腔室系統供研發所用。 

   

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