原子層沉積 ALD System

• ALD 原子層沉積系統

  

  原子層沉積（ALD）是在3D結構上逐層沉積超薄薄膜的工藝方法。薄膜厚度和特性的精確控制通過在工藝循環過程中在真空腔室分步加入前置物實現。

   

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