等離子沉積 Plasma Deposition

• ICPECVD 沉積系統

  

  高密度等離子體 

  平板ICP等離子源 
  

  優良的沉積效果

   

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• PECVD 沉積系統

  

  工藝靈活 
  

  預真空室 

  控制軟件 

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• 經濟型 PECVD 沉積系統

  

  性價比高
  

  擴展性強
  

  控制軟件 

   

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